半導体圧縮空気品質基準

半導体圧縮空気の品質基準には、主に次の側面が含まれます。

1. 圧縮空気品質レベル：ISO 8573.1によると、圧縮空気中の汚染物質は固体不純物、水、石油に分割されます。半導体業界では、通常、生産プロセスの安定性と製品の品質を確保するために、空気の質の高い評価が必要です。具体的には、粉塵を含む要件は通常0.01μmに達します。つまり、圧縮空気中の固体粒子はこの値よりも小さくする必要があります。
2. 石油含有量の要件：半導体産業では、圧縮空気中のオイル含有量が厳密に制御されています。通常、オイルの含有量の要件は0.00ppmです。つまり、圧縮された空気は基本的に生産プロセスと製品の汚染を避けるためにオイルが含まれていません。
3. 露点要件：露点は、圧縮空気の水分含有量を測定するための重要な指標です。半導体産業は通常、空気に過度の水分がないことを保証するために、圧縮空気の露点要件が非常に低いです。一般的に言えば、露点は-40°Cから-70°Cの間である必要があります。これは、水分が生産プロセスに干渉するのを防ぐのに役立ちます。
4. 圧力要件：半導体業界には、圧縮空気の圧力に関する特定の要件もあります。特定の圧力値はプロセスごとに異なる場合がありますが、一般的に言えば、生産プロセスのスムーズな進行を確保するために、圧力を安定した範囲内に保持する必要があります。

要約すると、半導体圧縮された空気品質基準は、固体不純物、湿気、油、圧力など、包括的で多面的な考慮事項です。これらの標準は、半導体生産プロセスの安定性と製品の品質を確保するように設計されています。