半導体工場での圧縮空気供給

半導体工場では、圧縮空気の供給は重要なリンクであり、生産プロセスのスムーズな進行、製品品質の改善、生産効率の改善に直接関連しています。以下は、半導体工場での圧縮空気の供給の詳細な説明です。1。半導体工場における圧縮空気の役割

1. ：
   • 圧縮空気は、セミコンダクターのさまざまな陽性装置に電力を提供します、研磨およびその他のプロセス。
2. クリーニングとパージ：
   • 半導体生産プロセスでは、圧縮空気を使用して、表面の粒子と粉塵を浄化して、生産環境の清潔さを確保します。
   • シリコンウェーハ処理のプロセスでは、圧縮空気もシリコンウェーハを乾燥させてきれいにするために使用されます。
3. 制御システム：
   • 圧縮空気の圧力と流れを調整することにより、半導体生産装置のさまざまなパラメーターの正確な制御を達成し、生産効率と製品の品質を向上させることができます。

2。SemiconductorFactory圧縮空気供給システム

1. メインコンポーネント：
   • エアコンプレッサー半導体工場は通常、潤滑剤を含まない大気圧縮機を使用して、汚染製品による油汚染を避けます。
   • 空気貯蔵タンク：圧縮空気を保管して、ピーク需要中に継続的な供給を確保するために使用されます。
   • フィルターデバイス：空気から不純物、粒子、湿気、油を除去するために使用されるエアフィルターとプロセスフィルターなどが含まれており、生産プロセスに入る圧縮空気が純粋で汚染のないことを保証します。
   • パイプネットワーク：圧縮された空気をコンプレッサーから各生産リンクに転送して、安定した供給と圧縮空気の効率的な使用を確保します。
   • 制御バルブ：さまざまな生産リンクのニーズを満たすために、圧縮空気の流量と圧力を正確に制御できます。
2. 圧縮空気品質要件：
   • 半導体工場は、圧縮空気の品質のために非常に高い要件を持ち、油なし、水なし、および粒子のない基準を満たす必要があります。
   • 国際基準によるとISO 8573-1：2010圧縮空気の質量は、水分、油、粒子状物質の3つの汚染物質の含有量に従って分類されます。半導体工場の場合、通常、すべての汚染物質がクラス0でなければならないことが必要です。
3. エネルギー効率とコスト制御：
   • 半導体植物のエネルギー消費を考慮して、圧縮空気供給システムのエネルギー効率は運用コストを制御するために重要です。
   • 周波数コンバーターエアコンプレッサー、高効率フィルターデバイスなどの高度な圧縮空気技術と機器を使用することにより、エネルギー利用効率を改善し、生産コストを削減できます。

3。

• 品質監視：
  • CQCを設定して、圧縮空気の純度と安定性を確保することにより、ガスの品質を継続的に監視します。
• 緊急計画：
  • 半導体工場は、可能なシステム障害または緊急事態に対処し、生産プロセスの円滑な進歩を確保するための完全な緊急計画を確立する必要があります。

iv半導体工場での圧縮空気供給の症例分析

ファクトリーは、複数の油のないネジ型圧縮機、高効率のフィルターデビカスシステムなどの高度な圧縮空気供給システムを採用しています。このシステムは、圧縮空気の純度と安定性を確保し、半導体生産の高い基準を満たすことができます。同時に、インバーターエアコンプレッサーを採用し、パイプライン設計を最適化することにより、このシステムは大幅な省エネ効果と生産コストの削減も達成しました。

一般に、半導体工場での圧縮空気の供給は複雑で重要なリンクです。合理的な設計、効率的な運用、慎重なメンテナンスと管理により、半導体の生産と製品の品質のスムーズな進歩を確保できます。