クリーンルーム圧縮空気要件
クリーンルーム圧縮空気要件分析
クリーンルームは、空気清浄度が要求される特殊な環境として、その圧縮空気システムは、生産プロセスの安定性と製品品質を確保するために一連の厳しい基準を満たす必要があります。圧力、流量、純度の3つのコア次元から、クリーンルームの圧縮空気に対する具体的な要件を分析します。
圧力要件：安定供給、駆動装置の正確な動作
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圧力の範囲
空気圧工具、オートメーション機器、クリーンワークベンチなどのクリーンルーム機器では、通常、正常な動作を保証するために安定した圧縮空気圧が必要です。圧力要件は、機器の種類とプロセス要件に応じて、一般的に0.5- 0.8 MPa（約5-8 kg）の間です。 -
圧力の安定性
圧力変動は、圧力不安定による機器の異常動作や製品品質の問題を避けるために、非常に小さな範囲（通常± 0.0 5 MPa以内）で制御する必要があります。そのためには、効率的な圧力調整と安定した出力能力が必要です。
第二に、流量要件：十分な供給、ガス供給不足の回避
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フロー計算の計算
流量要件は、クリーンルーム機器の数とガス消費量に依存します。十分なガス供給を確保するためには、通常、設備の総ガス消費量に応じて20%~ 30%のマージンを増加させる必要があります。例えば、機器の総ガス消費量が100 m3/分の場合、システム設計流量は120-130 m3/分以上でなければなりません。 -
瞬時の流量応答
一部の機器（パルス集塵機など）には瞬時に高い流量需要がある場合があり、圧縮空気システムは瞬時の流量変化を満たし、供給不足による機器のダウンタイムやプロセス中断を回避するために迅速な応答能力が必要です。
第三に、純度要件：無油、無水、清潔な環境を守る
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油含有量の制御
圧縮空気中の油分はクリーンルーム環境を汚染し、製品の品質に影響を与えます。したがって、システムはオイルフリーエアコンプレッサーを使用するか、高効率オイルフィルターを装備して、出力空気の油分含有量を0.0 1 mg/m3未満にし、オイルフリー規格を満たす必要があります。 -
含水量の制御
湿気は、クリーンルーム機器の腐食、製品の湿気、プロセスの問題を引き起こします。システムには乾燥装置（凍結乾燥機、吸着乾燥機など）を装備し、圧縮空気露点温度を-20 ° C ~-40 ° Cの間に制御し、出力空気が水分なしで乾燥するようにする必要があります。 -
粒子状物質のコントロール
空気中の粒子状物質はクリーンルーム環境を汚染する可能性があり、高効率フィルター（HEPAフィルターなど）で濾過する必要があり、出力空気中の粒子状物質濃度が0.1μm未満であることを確認し、クリーンルームの空気清浄度に対する厳しい要件を満たします。
技術ソリューション：システムの安定性を確保するための統合設計
クリーンルームの圧縮空気に対する高い要件を満たすためには、以下の技術ソリューションが必要です。
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オイルフリーエアコンプレッサー
オイルフリー潤滑技術を採用し、ソースからオイル汚染を排除し、純粋なオイルフリーの出力空気を確保します。 -
高効率ろ過システム
多段フィルター（プリフィルター、精密フィルター、活性炭フィルターなど）を装備し、空気中の粒子状物質、水分、油分を徐々に除去し、空気純度を確保します。 -
インテリジェント制御システム
圧力、流量、純度などのパラメータをリアルタイムで監視し、自動的にシステムの運転状態を調整し、圧縮空気の安定供給を確保し、故障警報と遠隔監視機能を備え、システム管理効率を向上させます。 -
クリーンルーム専用パイプ
ステンレス鋼またはクリーンルーム専用パイプを採用し、パイプの内壁の脱落物が空気を汚染することを避け、同時にパイプの密封性を確保し、外部の汚染物の侵入を防止する。
クリーンルームの圧縮空気に対する要求は非常に厳しく、圧力、流量、純度の3つの側面から完全に制御する必要があります。オイルフリーエアコンプレッサー、高効率ろ過システム、インテリジェント制御システム、クリーンルーム専用パイプラインなどの技術ソリューションを採用することにより、圧縮空気システムの安定した効率的な動作を確保し、クリーンルーム生産の信頼性の高い保証を提供します。圧縮空気システムを選択する際には、自社のクリーンルームグレードとプロセス要件に応じて、対応する技術力を持つサプライヤーを選択し、システムの長期安定運転と製品品質と安全性を確保する必要があります。
