半導体業界の圧縮空気の純度は？
半導体製造の分野では、圧縮空気の清浄度がチップ製造品質や装置の安定性に直接影響します。業界では、精密プロセスを妨げる微小な不純物を避けるために、圧縮空気に非常に高い純度基準が求められます。
物理的な圧縮モードを介して空気を出力するグランクリン水潤滑シングルスクリュー空気圧縮機は、そのコア利点は、オイルフリー設計にあります-従来の潤滑油の代わりに純水を使用し、ソースからの残留油を排除し、半導体プロセスの“ゼロ油”の基本要件を満たします。しかし、元の圧縮空気には自然に凝縮した水分や空気中の微小粒子が含まれており、再処理装置でさらに精製する必要があります。
半導体業界で一般的に使用されている圧縮空気の純度基準には、露点温度を-40 ° C未満に制御すること（深い乾燥を確保するため）、粒子状物質含有量をISO 85 7 3 -1規格のクラス1以上にすること（粒子径0.1μm以下の粒子状物質濃度を極めて低くすること）、油分含有量を厳密にゼロにすることが含まれます。グランクリンエアコンプレッサーから出力されるオイルフリー空気は、冷間乾燥機、乾燥機、精密フィルターの設置により、残留水分や粒子状物質を効果的に除去し、最終ガスが半導体プロセスの厳しい要件を満たすことを保証します。
このソリューションの利点は次のとおりです。グランクリンエアコンプレッサーのオイルフリー特性は、乾燥装置とろ過システムの油汚染を回避し、後処理コンポーネントの寿命を延ばすことです。同時に、安定した圧縮空気流量と圧力特性は、後処理装置の効率的な運転を保証し、圧力変動による浄化効果の不安定性のリスクを低減します。
半導体企業は、特定のプロセスのガス消費量、連続性要件、環境湿度に応じて浄化プログラムを総合的に評価することをお勧めします。湿度が高い場合や乾燥度が非常に高い場合は、乾燥機と多段ろ過の組み合わせを優先します。環境湿度が制御可能で、プロセス耐性が高い場合は、冷間乾燥機と精密フィルタの組み合わせも経済的な選択肢として使用できます。グランクリンエアコンプレッサーと後処理装置の組み合わせは、半導体業界に精密製造基準を満たす信頼性の高いガスソリューションを提供します。
